Inpria量产EUV用无机光刻胶,三星、SK海力士均参与了投资
AVA 2020-10-22 18:11据韩媒报导,美国材料公司Inpria已开始生产基于MOx的无机光刻胶。
Inpria大规模生产设施最近已投入使用,将能够满足对无机光刻胶的需求。该设施每年的生产能力为4,000加仑,约15,141升。该公司在2019年上半年生产了230加仑,而到2020年上半年已跃升至550加仑。预计产量将进一步增长。
Inpria首席执行官Andrew Grenvile表示,该司也已取得将物料安全存储约六个月的设施。
此外,Inpria在2月份的C轮融资中获得了3,100万美元,这笔资金有可能用于扩大生产设施。JSR,SK Hynix和台积电在C轮融资中进行了投资。
EUV 光刻胶分为CAR和非CAR两种,其中CAR使用聚合物,而非CAR使用金属氧化物,Inpria生产后者。无机光刻胶的颗粒是有机颗粒的五分之一。EUV的光吸收率也提高四到五倍,可帮助蚀刻图案更精确。
Inpria还将与其设备合作伙伴合作以增强生态系统。JSR是其质量和制造系统的合作伙伴,TOK将成为其他电池的合作伙伴。集成过程将与IMEC共同开发。MOx扫描仪将使用ASML开发。Applied Materials和Tokyo Electron是设备兼容性的合作伙伴。
Inpria的目标是到2022年推出第三代EUV无机光刻胶,可满足对3nm工艺的需求。
Inpria于2007年从俄勒冈州立大学分拆出来,当时是作为一个团队在当地的化学实验室中成立的。2014年,它获得了三星风险投资,英特尔和Applied Materials的投资。2017年,三星再次投资。