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ASML透露:3nm工艺所需的光罩数量将增至20层以上

AVA 2020-11-04 10:37

台积电和三星作为全球领先的晶圆代工企业,目前均已经进入了3nm制程研发阶段,半导体设备供应商ASML透露,3nm工艺的光罩数量将增加至20层以上。

此前,有消息称台积电的5nm工艺所需的光罩数量为14层。事实上,随着工艺节点的不断缩小,所需的光罩层数是逐渐增加的。

业内人士预估,当3nm制程与5nm制程芯片在晶体管数量相同的情况下,功率可提升15%,功耗则陡降30%。

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