台媒：台积电增购EUV光刻机台，投入2nm研发
Andy 2020-06-08 12:13
台媒报道，台积电近期增购二台极紫外光（EUV）机台，以投入2nm研发。
台积电作为目前全球制程最领先的晶圆代工厂，一直积极致力于先进技术的研发。据悉，台积电3nm制程预计明年上半年试产、2022年下半年量产。
台积电是目前最积极导入EUV设备提供代工量产服务的晶圆厂，也因台积电在FinFET技术工艺精进，台积电在5nm全数导入EUV光刻设备。
台积电此前在2019年年报中透露，公司已开始开发2纳米技术，同时针对2纳米以下的技术进行探索性研究。
