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三星电子:从16层HBM开始逐步引入混合键合

Andy 2025-07-23 16:11

据韩媒报道,三星电子DS部门半导体研究院下一代研究团队常务董事Kim Dae-Woo近日表示,一旦HBM超过16层,现有的热压(TC)键合将可能无法实现,三星电子正准备从16层开始引入混合键合。

HBM是一种垂直堆叠多个DRAM以提高数据处理速度的半导体。键合是连接DRAM的工艺,而TC键合机是该工艺中必不可少的HBM制造设备。

随着下一代HBM层数的增加,必须尽量缩小堆叠间隙。因此,混合键合的引入正在讨论中。混合键合是一种消除现有微凸块(焊球)并将 DRAM 直接连接到铜的技术,具有减少HBM 厚度的优势。

三星电子将在 16 层第 7 代 HBM“HBM4E”中同时采用 TC 键合和混合键合,并将从20层第 8 代“HBM5”开始全面应用于量产。

据悉,SK海力士也正在推行混合键合在HBM上的应用。目前正处于研发阶段,预计最早将应用于HBM4E。

混合键合技术预计不仅可应用于HBM,还可应用于3D DRAM和NAND Flash。但目前普遍的看法是混合键合技术商业化需要时间,因为这项技术需要大规模转型投资,从经济角度来解决这个问题,需要进一步改进现有技术。

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