中微公司公告称，预计2025年半年度归属于母公司净利润为6.8亿元-7.3亿元，同比增长31.61%-41.28%。报告期内，公司营业收入约49.61亿元，同比增长43.88%，其中刻蚀设备和LPCVD薄膜设备收入大幅增长。预计第二季度营业收入约 27.87 亿元，同比增长约51.26%。

业绩增长主要得益于营收增长带动毛利增加、研发投入大幅提升以及对外股权投资收益增长。

分业务来看，上半年，中微公司刻蚀设备收入增长约40.12%，达 37.81 亿元；LPCVD 薄膜设备收入增长约608.19%，达 1.99 亿元。中微公司高端刻蚀设备在先进逻辑芯片和存储芯片制造中的关键工艺环节实现大规模量产，带动业绩持续攀升。

2025年上半年中微公司研发投入约14.92 亿元，同比增加 5.21 亿元，同比增长约 53.70%，2025 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。