据ASML官方消息，ASML已与比利时芯片研究公司Imec合作开设一个实验室，该实验室由 ASML 和 imec 共同运营，用于测试其High-NA EUV。

新的High-NA EUV能生产新一代更小、效能更快的芯片。ASML称，预计客户将在2025-2026年开始使用这款新设备进行商业生产。

ASML-imec High-NA EUV联合实验室旨在帮助客户降低技术风险，并在设备在其生产工厂投入使用之前开发私有的High-NA EUV 用例。还将向更广泛的材料和设备供应商生态系统以及 imec 的High-NA图案化计划提供访问权限。