据日刊工业新闻报导，日本富士软片(Fujifilm)已开始生产极紫外光(EUV)光阻剂的样品，即将正式量产，并计划在2024年取得全球市占10%。

报导称，富士软片子公司富士软片电子金属公司(FFEM)的日本静冈县工厂内，已追加投资15亿日圆(约1,460万美元)，引进生产EUV光阻剂所使用的检查设备等品管相关装置，目前正在生产样品并开始出货，最快可于2021年上半开始量产。

富士软片原本生产的是ArF光阻剂，为了投资研制高质量EUV光阻剂，包括引进品管设备在内，已花费共45亿日圆(4,380万美元)。

此前有报导称，富士软片与住友化学于2020年就已表示将投入EUV光阻剂的市场。目前富士软片已依照预定进度即将在2021年上半量产，而住友化学预定于2022年度(2022/4~2023/3)在日本大阪市着手兴建EUV光阻剂产线。

目前EUV光阻剂市场，由日厂JSR与信越化学工业占据绝大部分。另外，韩国为打破日本对于半导体材料的封锁，极力邀请外商到韩国设厂，据韩媒报导，日厂东京应化工业将把EUV光阻剂，移至韩国仁川进行生产并供应韩厂。美国厂商杜邦公司也曾于2020年初宣布投资2,800万美元，在韩国天安市建立EUV光阻剂工厂。