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SK海力士导入AI深度学习,提升半导体制造良率与效率

Helan 2018-11-15 08:37

最近大型资料中心的建设,使半导体需求不断升温,造成供应赶不上需求,为了将生产不良率降至最低,提升生产过程的安全性,SK海力士(SK Hynix)引进人工智能(AI)技术,试图挑战零不良率,提高生产效率。

根据韩媒亚洲经济的报导,SK海力士相关人士日前于韩国COEX举行的NVIDIA AI Conference 2018中指出,20纳米级DRAM向前推进一个世代约需1年左右,但是到了10纳米级DRAM,每推进一个世代的时间约需2年以上,由于制程已来到物理极限,更需要采取不同于以往的方式,AI深度学习技术因此受到业界广泛关注。

SK海力士正不断将AI深度学习导入半导体制造,期望将晶圆不良率最小化。过去SK海力士采用软件判断封装制程是否不良的方式,是拍下封装影像后与预先储存的不良案例进行比较。SK海力士相关人士指出,软件判断出100张影像为不良,实际上工程师看过后的不良影像约1.5张,最后多数人力皆得投入以人工方式再次检查晶圆是否不良,人员工作量因此增加。

不过SK海力士自动分类影像的AIV系统,自从导入AI深度学习后,问题已大幅获得解决。透过AI深度学习技术,不良未检出率为0%,误判为不良的比率也降至3%,人员工作量大幅减少了90%。目前SK海力士正计划建立一套系统,期望将侦测异常设备的时间缩至最短。

一般而言,设备检查多由工程师亲自执行确认,但从发现问题到处置解决,可能得花上数十分钟至数十小时不等。为了解决这个问题,SK海力士主要设备皆装设闭路电视(CCTV),具备影像监视系统,不同设备皆可拍出4种不同影像,将设备正常运行大数据化,透过这样的方式,一旦设备脱离原先设定路径,AI就会立即发现并通知管理者,将设备发生异常时的损失减至最低。

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